|
|
| Автор: Коллектив авторов |
| Издательство: Издательский дом “Белорусская на |
| Год: 2018 |
| Cтраниц: 1 |
| Формат: PDF |
| Размер: 0 |
| ISBN: 978-5-04-158515-0 |
| Качество: excellent |
| Язык: |
|
 |
|
Описание:
|
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
|
Пресс - релиз
string(4) "true"
int(290)
|
