|
Автор: Игорь Житяев |
Издательство: Южный Федеральный Университет |
Cтраниц: 1 |
Формат: PDF |
Размер: 0 |
ISBN: 978-5-04-234583-8 |
Качество: excellent |
Язык: |
|
|
Описание:
|
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
|
Просмотров: 33 Пресс - релиз
string(4) "true"
int(166)
|