|
|
| Автор: Игорь Житяев |
| Издательство: Южный Федеральный Университет |
| Cтраниц: 1 |
| Формат: FB2.ZIP,FB3,EPUB,IOS.EPUB,TXT.ZIP,RTF.ZIP,A4.PDF,A |
| Размер: 0 |
| ISBN: 978-5-04-153027-3 |
| Качество: excellent |
| Язык: |
|
 |
|
Описание:
|
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
|
Пресс - релиз
string(4) "true"
int(290)
|
