|
|
| Автор: Геннадий Кузнецов |
| Издательство: МИСиС |
| Год: 2008 |
| Cтраниц: 1 |
| Формат: PDF |
| Размер: 0 |
|
| Качество: excellent |
| Язык: |
|
 |
|
Описание:
|
В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярнопучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма.
|
Пресс - релиз
string(4) "true"
int(242)
|
