|
|
| Автор: Александр Величко |
| Издательство: Новосибирский государственный те |
| Год: 2014 |
| Cтраниц: 1 |
| Формат: PDF |
| Размер: 0 |
| ISBN: 978-5-04-113045-9 |
| Качество: excellent |
| Язык: |
|
 |
|
Описание:
|
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
|
Пресс - релиз
string(4) "true"
int(290)
|
