|
Автор: Александр Василевский |
Издательство: Новосибирский государственный те |
Год: 2014 |
Cтраниц: 1 |
Формат: PDF |
Размер: 0 |
ISBN: 978-5-04-112698-8 |
Качество: excellent |
Язык: |
|
|
Описание:
|
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
|
Просмотров: 28 Пресс - релиз
string(4) "true"
int(166)
|