|
|
| Автор: Дмитрий Крутогин |
| Издательство: МИСиС |
| Год: 2015 |
| Cтраниц: 1 |
| Формат: PDF |
| Размер: 0 |
|
| Качество: excellent |
| Язык: |
|
 |
|
Описание:
|
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
|
Пресс - релиз
string(4) "true"
int(242)
|
