|
Автор: Моряков О.С. |
Издательство: Высшая школа |
Год: 1990 |
Cтраниц: 128 |
Формат: djvu |
Размер: 1 292 930 |
ISBN: 5-06-001079-1 |
Качество: Хорошее |
Язык: русский |
|
|
Описание:
|
В книге описаны процессы воздействия на твердое тело электронных, ионных и оптических пучков, применяемые в микроэлектронике для травления диэлектриков, полупроводников, металлов, и нанесения их тонких слоев на подложки различными методами. Приведены сведения по ионной имплантации и моле-кулярно-лучевой эпитаксии, подгонке сопротивления резисторов и емкости конденсаторов, разделению материалов, сварке, стимулированию травления, отжигу и закалке. Рассмотрено технологическое оборудование
|
Просмотров: 2415 Пресс - релиз
string(4) "true"
int(166)
|