TakeBooks.com TakeBooks.com TakeBooks.com
TakeBooks.com
TakeBooks.com
  Учебная и научная литература> Технические науки> Радиоэлектроника>

Электроника

TakeBooks.com
TakeBooks.com
 Каталог
:: Java книги
:: Авто
:: Астрология
:: Аудио книги
:: Биографии и Мемуары
:: В мире животных
:: Гуманитарные и общественные науки
:: Детские книги
:: Для взрослых
:: Для детей
:: Дом, дача
:: Журналы
:: Зарубежная литература
:: Знания и навыки
:: Издательские решения
:: Искусство
:: История
:: Компьютеры
:: Кулинария
:: Культура
:: Легкое чтение
:: Медицина и человек
:: Менеджмент
:: Наука и образование
:: Оружие
:: Программирование
:: Психология
:: Психология, мотивация
:: Публицистика и периодические издания
:: Разное
:: Религия
:: Родителям
:: Серьезное чтение
:: Спорт
:: Спорт, здоровье, красота
:: Справочники
:: Техника и конструкции
:: Учебная и научная литература
   :Гуманитарные и общественные науки
   :Естественные науки
   :Технические науки
     :Горное дело
     :Пищевая промышленность
     :Радиоэлектроника
       :Автоматика и телемеханика
       :Квантовая электроника
       :Кибернетика
       :Радиолокация
       :Радиотехника
       :Электрическая связь
       :Электроакустика
       :Электроника
     :Строительство
     :Технологии металлов
     :Транспорт
     :Химическая технология
     :Энергетика
:: Фен-Шуй
:: Философия
:: Хобби, досуг
:: Художественная лит-ра
:: Эзотерика
:: Экономика и финансы
:: Энциклопедии
:: Юриспруденция и право
:: Языки
 Рекомендуем
Новая жизнь без трусов
Новая жизнь без трусов
 Новинки
Миллионер света. Открой бесконечный источник энергии
Миллионер света. Открой бесконечный источник энергии
 


 

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Автор: Коллектив авторов
Издательство: ФГУП «Издательство СО РАН»
Год: 2013
Cтраниц: 1
Формат: PDF
Размер: 0
ISBN: 978-5-04-040109-3
Язык: 
Описание:
В монографии представлены результаты развития процессов химического осаждения из газовой фазы металлических и диэлектрических пленок с использованием нетрадиционных летучих исходных соединений, а именно, комплексных соединений металлов и кремнийорганических соединений, синтезируемых в ИНХ СО РАН и ИрИХ СО РАН. Рассматриваются результаты исследования физико-химических свойств исходных соединений. Изложены принципы выбора исходных соединений, основанные на исследовании их термодинамических свойств и термодинамическом моделировании MO CVD процессов. Получены и исследованы наиболее важные для современной электроники и наноэлектроники материалы: металлические пленки (Cu, Ni, Ru, Ir), диэлектрические пленки с высоким (high-k) и низким (low-k) значением диэлектрической проницаемости. Изучены химический, фазовый состав и структура простых и сложных оксидов на основе HfO 2 (high-k диэлектрики), а также карбонитридов бора, карбонитридов и оксикарбонитридов кремния (low-k диэлектрики). Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся химией твердого тела, микроэлектроникой и технологией материалов электронной техники.




Просмотров: 6

Пресс - релиз

Последние отзывы:
К настоящему времени нет отзывов!
Написать отзыв
Вход 
Если Вы забыли пароль, щелкните здесь





Вы новый клиент?
Зарегистрируйтесь
 
 Информация 
Свяжитесь с нами
Как скачать и чем читать
  Quiero dinero © 2007