Рассмотрены основные физико-химические свойства материалов, используемых в радиоэлектронной аппаратуре. Для основных четырех групп материалов – полупроводников, металлов, диэлектриков и магнетиков приведены свойства, определяющие их функциональность, и рассмотрены базовые технологии получения. ...
В учебном пособии рассмотрены вопросы терминологии в области нанотехнологий, проанализирована взаимосвязь размерных эффектов и области применимости нанотехнологий, описаны основные группы нанотехнологий, дана характеристика ряда новых, промышленно освоенных нанотехнологий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 210602 «Наноматериалы», 210100 «Электроника и наноэлектроника», а также для студентов других направлений, препо ...
Приведено описание лабораторных работ по процессам получения и изучению свойств основных классов наноструктурных материалов: нанопорошков; объемных наноматериалов, полученных методами интенсивной пластической деформации и контролируемой кристаллизацией из аморфного состояния; наноструктурных покрытий. ...
Цель курса лекций – ознакомить студентов с методами моделирования процессов выращивания наноструктур. Даны основные представления о методе Монте-Карло, основанном на выборе случайных процессов. Представлены приложения метода Монте-Карло для моделирования взаимодействия частиц. Даны основные представления моделирования выращивания нанопленок методом молекулярной динамики, с помощью которого можно численно интегрировать классические уравнения движ ...
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». ...
Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. О ...
В учебном пособии рассмотрены физические основы методов и аппаратура для проведения рентгеноструктурного, электроно- и нейтронографического анализов, просвечивающей электронной микроскопии, растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального микроанализа, позволяющие исследовать химический состав и структуру различных материалов, в том числе и нанокристаллических. Особое внимание уделено описанию возможностей этих методов, их точности, чув ...
