Учебник содержит лекции по общепрофессиональным дисциплинам направления «Электроника и микроэлектроника». При изложении материала используется системный подход к изучению разделов электроники: вакуумной и плазменной электроники, твердотельной электроники и микроэлектроники, квантовой и оптической электроники, а также недостаточно освещенных в учебной литературе разделов наноэлектроники, функциональной электроники. Впервые в учебной литературе уд ...
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) – электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая ...
Учебник содержит лекции по общепрофессиональным дисциплинам направления «Электроника и микроэлектроника». При изложении материала используется системный подход к изучению разделов электроники: вакуумной и плазменной электроники, твердотельной электроники и микроэлектроники, квантовой и оптической электроники, а также недостаточно освещенных в учебной литературе разделов наноэлектроники, функциональной электроники. Впервые в учебной литературе уд ...
В книге рассмотрены основные сведения об электромеханических и силовых электронных аппаратах для электрических сетей низкого и высокого напряжения. Описаны принципы их действия, приведены их основные характеристики и области применения. Представлены электромагнитные и тепловые явления, коммутационные процессы в электромеханических аппаратах. Проанализированы типы и принципы функционирования силовых электронных коммутационных аппаратов и рег ...
Учебник содержит лекции по общепрофессиональным дисциплинам направления «Электроника и микроэлектроника». При изложении материала используется системный подход к изучению разделов электроники: вакуумной и плазменной электроники, твердотельной электроники и микроэлектроники, квантовой и оптической электроники, а также недостаточно освещенных в учебной литературе разделов наноэлектроники, функциональной электроники. Впервые в учебной литературе уд ...
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) – электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются потоки ускоренных электронов и гамма-излучения. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и фокусировку д ...
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схе ...
Учебник содержит лекции по общепрофессиональным дисциплинам направления «Электроника и микроэлектроника». При изложении материала используется системный подход к изучению разделов электроники: вакуумной и плазменной электроники, твердотельной электроники и микроэлектроники, квантовой и оптической электроники, а также недостаточно освещенных в учебной литературе разделов наноэлектроники, функциональной электроники. Впервые в учебной литературе уд ...
В настоящее время приборостроение является важной отраслью промышленности, от успешного развития которой зависит способность страны к инновациям, внедрению новых приборов, установок, систем и технологий, необходимых для повышения производительности труда, создания комфортных и безопасных условий жизни людей, освоения окружающей среды, обеспечения экологической безопасности и пр. В данном учебнике рассматриваются основы теории, способы описа ...